在半導(dǎo)體制造、新能源材料研發(fā)及先進(jìn)電子器件生產(chǎn)等領(lǐng)域,材料電學(xué)性能的準(zhǔn)確表征是推動技術(shù)突破的核心環(huán)節(jié)。四探針檢測儀作為這一領(lǐng)域的核心工具,憑借其獨(dú)特的電流-電壓分離測量原理,實(shí)現(xiàn)了對材料電阻率、方塊電阻等關(guān)鍵參數(shù)的高精度測量,成為科研與工業(yè)檢測中不可少的"電子顯微鏡"。傳統(tǒng)兩探針法通過單一電流路徑測量電阻,但探針與樣品的接觸電阻、引線電阻等寄生參數(shù)會顯著干擾測量結(jié)果,尤其在低電阻率材料中誤差可達(dá)±10%。四探針檢測儀通過物理隔離電流路徑與電壓測量路徑,解決了這一...